測量項目

測量項目(mu)

點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧(hu)處理（圓弧(hu)半徑、圓心(xin)距、圓心(xin)到直線的距離、

交點到(dao)圓(yuan)心的距離(li)(li)等）、zui高(gao)點、zui低(di)點、距離(li)(li)、角(jiao)度處理（坐標夾角(jiao)、直線夾角(jiao)）、

直線(xian)度(du)、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平(ping)距、凸度(du)（對數曲線(xian)）、輪廓度(du)等參數

測量范圍(wei)

X軸（橫導(dao)軌）

150mm

Z1軸（傳(chuan)感器(qi)）

20mm

Z軸（立柱）

500mm

測量精度

X軸(L=X軸導軌(gui)移動距離)

±(1.5+2L/100) μm

Z1軸(zhou)(H=Z1軸(zhou)方向(xiang)測量高度)

±(1.8+3H/100) μm

X軸水(shui)平臂

直線(xian)度

0.2μm /100mm

光柵分辨率

0.1μm

光(guang)柵(zha)產(chan)地(di)

進(jin)口

Z1軸傳感器

分辨率(lv)

0.02μm

傳感器(qi)類(lei)型

電(dian)感傳(chuan)感器

產地(di)

進口

移動方向

前/后 雙方向

測力

0.01-0.06N

測針針尖

硬質合金 R：0.05mm、0.01mm

爬(pa)坡角度

上升77度 下降(jiang)88度

速度

測量速度(du)

0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8個)

定位(wei)速度(du)

0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8個)

圖形(xing)放大/縮小(xiao)

圖(tu)形放大

可任意(yi)縮小、放大

綜合(he)調(diao)整臺

綜合調整(zheng)臺

X軸水平(ping)傾斜調整(zheng)(zheng)范圍：±30°，Y軸方向調整(zheng)(zheng)范圍：±7.5mm，Z軸回轉可調360度（帶微調裝置）

安裝(zhuang)要求

電源

220-240V AC, 50HZ，單獨地線；zui大功(gong)率(lv)消耗450W

壓(ya)縮(suo)空氣

純凈壓縮空(kong)氣(qi)：氣(qi)壓0.4MP，消耗(hao)0.1m³ /min （氣源供給0.6MP，0.25m³ /min以上）

環境要求

工作溫(wen)度：10°-30°（常溫(wen)）；濕(shi)度20-80%RH（無結露），良(liang)好地線，無明顯振源